随着半导体技术的不断发展,对工艺技术的要求越来越高,特别是对半导体圆片的表面质量要求越来越严,其主要原因是圆片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率,在目前的集成电路生产中,由于圆片表面沾污问题,仍有50%以上的材料被损失掉。
在半导体生产工艺中,几乎每道工序中都需要进行清洗,圆片清洗质量的好坏对器件性能有严重的影响。正是由于圆片清洗是半导体制造工 艺中最重要、最频繁的工步,而且其工艺质量将直接影响到器件的成品率、性能和可靠性,所以国内 外各大公司、研究机构等对清洗工艺的研究一直 在不断地进行。目前已研制出的圆片清洗技术有:湿 法化学清洗、超声清洗、兆声清洗、鼓泡清洗、擦洗、高压喷射法、离心喷射法、流体力学法、流体动力学法、干法清洗、微集射束流法、激光束清洗、冷凝喷雾技术、汽相清洗、非浸润液体喷射法、在线真空清洗 、RCA 清洗、等离子体清洗、原位水冲洗等。这些方法和技术已被广泛应用于半导体圆片的清洗工艺中。
如何判断晶圆是否达到一定的清洁度。一个重要的途径就是判断清洗晶圆的溶液的洁净度。PMT-2液体颗粒计数仪采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器,双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统,可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析,目前是英国普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。
航天零部件颗粒污染度管控标准一、适用范围适用于航天液压、伺服、阀、管路、喷嘴、发动机部件、精密机构等零部件在清洗、装配、试验、贮存全过程的不溶性颗粒污染度控制与判定。二、执行标准- GJB 5964《航天产品清洁度要求》- GJB 3837《航天液压系统清洁度控制》- NAS 1638《
航天部件清洗液体颗粒管控实践方案 一、方案背景 航天液压、伺服、阀类、管路及精密组件在清洗过程中,液体中的微米级不溶性颗粒易造成部件卡滞、磨损、密封失效、流道堵塞,直接影响飞行可靠性与在轨寿命。为满足航天级清洁度要求,需对清洗液颗粒进行全过程定量管控、可检测、可追溯,形成标准化检测与控制方案。 二、方案
航天零部件颗粒污染度·液体颗粒管控痛点以及解决方案一、核心痛点1.清洗液本身易污染新液无过滤、循环液不净化,使用中颗粒越积越多,导致“越洗越脏”。2.颗粒隐蔽性强、难管控深孔、管路、阀腔等结构复杂,液体中微小颗粒易残留,常规手段无法识别。3.检测滞后、无过程控制仅终检抽检,无在线监
液体颗粒计数器应用介绍在众多工业和科研领域中,液体的纯净度和颗粒含量对于产品质量、设备运行以及实验结果都有着至关重要的影响。而我们的液体颗粒计数器,作为一款高精度、高性能的检测仪器,能够为您提供准确、可靠的液体颗粒分析,是保障液体质量的得力助手。一、产品概述液体颗粒计数器是采用先进的光学技术和电子技
液体颗粒计数器是采用先进的光学技术和电子技术,对液体中的颗粒进行快速、准确计数和粒径分析的专业设备。它能够检测的颗粒粒径范围广泛,从微小的纳米级颗粒到较大的微米级颗粒,满足不同行业和应用场景的需求。
一、方案背景随着制药、医疗及半导体等行业的飞速发展,对生产环境的纯净度要求日益严苛。双氧水作为关键的消毒与清洁试剂,其内部颗粒物的存在直接影响到产品的质量与安全性。普洛帝PMT-2液体颗粒计数器,凭借其卓越的检测精度与稳定性,成为实现这一目标的核心工具,为双氧水颗粒管理开启了智能化、自动化的新篇章。二、方
1.液体颗粒计数和颗粒尺寸分级的几种选择。光学显微镜和电子扫描显微镜的结合使用,可将颗粒分成粒径<5μm,5~100μm,粒径>100μm三个等级。该方法的检测限由过滤器孔径决定。普洛帝擦拭布液体颗粒计数器检测,基于设备型号,模型和传感器,通常将颗粒分为粒径<20μm和20-100μm(见提示)。大多数普洛帝擦拭布液
洁净室清洁擦拭产品的湿态发尘量(lpc)是洁净室擦拭产品洁净性能的关键指标之一,在要求高性能清洁擦拭,尤其是使用到液体、清洁剂清洁或在液体中做清洁时,湿态发尘量将直接影响到产品的质量,寿命等产品关键性能指标。但是目前洁净室用中清洁擦拭用品湿态发尘量(lpc)的检测方法主要依据美国国家环境协会的iest-rp-cc00
英国普洛帝分析测试集团分析仪器事业部在伦敦和西安两地向液体颗粒检测行业发布其新一代升级技术,通过使用物联网、数据分析、机器学习和AI技术,使用户准确得到液体颗粒检测数据,将检测中的参数设定,校准标定,测试信息数据化、智慧化,最后达到快速,有效,个性化的的不同场景的创新应用。
不溶性微粒检查仪对大输液的颗粒管控,遵循中国药典2020版附录C0903不溶性微粒检查法的不溶性微粒检查,同时可以进行在线过程质量控制和产品评价。
不同的化学品,颗粒管控的粒径值不一样,通过粒径大小的管控,对原材料进行清洁度等级的区分。一般的化学品有2个级别的管控,0.1um和0.05um两个级别,但电解液的颗粒管控却没有提出明确的粒径管控。这个就会对电解液的清洁度标准造成影响。究竟管控多少微米的颗粒才是符合生产标准的?这个问题一直困扰着一些生产企业。就这个问题,笔者走访了普洛帝测控研发技术总工郭工,郭工在颗粒管控行业有及其丰富的实操经验,根据多年来的技术研发,他给出了中肯的回答:“电解液颗粒管控行业内有个默认的粒径值,就是管控1um以上的颗粒,从而判定电解液的清洁度。国内的一些大型的蓄电池企业都用的这个标准,对于一些企业要求管控0.5um的颗粒,是极少企业的工艺要求。所以,对于大部分企业,对电解液的颗粒管控做到1um以上就可以了。不一定非要做到0.5um的颗粒管控。对于电解液这个特殊材质,1um以上的颗粒管控更加适合。”希望郭工的答复能够给到一些持有疑问的人一些借鉴和参考。
电解液有生物质电解液和化学品的电解液,这里着重点是在化学品行业的电解液。电解液是蓄电池生产制造业的重要原材料,电解液的清洁度高低直接影响到蓄电池成品的质量,所以,对电解液的颗粒管控就显得尤为重要。目前蓄电池行业对电解液的颗粒管控多是1um以上,随着制造工艺要求的提高,有的企业对颗粒的管控下限延伸到0.5um的,这个指标对管控仪器的检测精度就有更高的要求。流体测控专家----普洛帝测控技术经过多年的潜心研发,推出一款电解液颗粒管控专用仪器----PMT-2。这款仪器采用普洛帝第八代双激光窄光技术,双精密流量计量系统,是普洛帝精心打造的一款高性能、高性价比的仪器。目前PMT-2已经在国内多家蓄电池原材料制造企业得到应用,给电解液颗粒管控注入了新的活力。解决电解液颗粒管控问题,一定要用PMT-2电解液专用液体颗粒计数器。
铅酸蓄电池正极活性物质是二氧化铅,负极活性物质是海绵铅,电解液是稀硫酸溶液。作用如下:其一,起到电化学反应的作用,电瓶放电时,电极板吸收电解液中的硫酸,释放电能,没有电解液,电瓶是不能放出电能的,电瓶充电时,电极板释放出放电时吸收的硫酸,使电极板恢复到初始状态;其二,起到导电的作用,电瓶的正负电极板是互相绝缘的,没有电解液就不能形成电流回路,而电解液是由不导电的纯蒸馏水加入硫酸配制成的,蒸馏水加入硫酸后就成了能导电的媒质,电瓶正负电极板之间才能够在外电路挂上负载,形成完整的电流回路时,电流才能够在电瓶内畅通,有电流通过电极板才能产生电化学反应,充电或放电。
在技术岗工作的多年来,一直都能靠自己专业的知识解决产线上的工艺问题。可这次的问题真是难倒我了。产线上硫酸铜液体的颗粒管控,怎么测都是不达标的。正在苦闷中,大学同学打来电话给我分享他们新购置了一台测控硫酸铜的液体颗粒计数器。真是一个大好的消息。电话完毕,他给我推荐了普洛帝技术郭工的电话。我迫不及待地打通了郭工的电话,郭工耐心、专业地给我初步解答了我的疑问。并约好周一带仪器来我单位现场检测。