半导体制造中需要一些有机物和无机物参与完成,另外,由于工艺总是在净化室中由人的参与 进行,所以半导体圆片不可避免的被各种杂质污染。根据污染物的来源、性质等,大致可分为颗粒、有机物、金属离子和氧化物四大类。
1.1 颗粒
颗粒主要是一些聚合物、光刻胶和蚀刻杂质等。这类污染物通常主要依靠范德瓦尔斯吸引力 吸附在圆片表面,影响器件光刻工序的几何图形的形成及电学参数。这类污染物的去除方法主要以物理或化学的方法对颗粒进行底切,逐渐减小其与圆片表面的接触面积,最终将其去除。
1.2 有机物
有机物杂质的来源比较广泛,如人的皮肤油脂、细菌、机械油、真空脂、光刻胶、清洗溶剂等。这类污染物通常在圆片表面形成有机物薄膜阻止清洗液到达圆片表面,导致圆片表面清洗不彻底,使得金属杂质等污染物在清洗之后仍完整的保留在圆片表面。这类污染物的去除常常在清洗工序的第一步进行,主要使用硫酸和双氧水等方法进行。
PMT-2液体颗粒计数仪采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器,双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统,可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析,目前是英国普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。
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超纯水液体颗粒管控测试设备选型要点超纯水广泛应用于半导体、光伏、生物医药、精密电子制造等高端行业,水中微量悬浮颗粒是影响产品良率、造成工艺缺陷的核心污染源。液体颗粒计数器是超纯水颗粒管控的核心设备,其选型的合理性直接决定水质检测数据的准确性和生产管控的有效性。选型需摒弃单一比价思维,结合检测原理、使
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航天部件清洗液体颗粒管控实践方案 一、方案背景 航天液压、伺服、阀类、管路及精密组件在清洗过程中,液体中的微米级不溶性颗粒易造成部件卡滞、磨损、密封失效、流道堵塞,直接影响飞行可靠性与在轨寿命。为满足航天级清洁度要求,需对清洗液颗粒进行全过程定量管控、可检测、可追溯,形成标准化检测与控制方案。 二、方案
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工业级检测设备与普通民用设备的核心差距,在于硬件配置、运行稳定性与长期耐用性。工业检测场景高频次、长时间、连续运行,且现场环境复杂、干扰因素多,普通简易设备极易出现数据漂移、流量不稳、传感器损坏等问题,无法满足工业常态化检测需求。普洛帝PMT-2油液颗粒度分析仪全系搭载工业级硬件配置,从检测核心、动力系统